什么是熱式質(zhì)量流量計？
熱式質(zhì)量流量計通常用于測量小流量氣體，究竟是一個什么樣的東西？與其他氣體流量計相比有什么不同？傳感器有什么區(qū)別？有什么優(yōu)勢和劣勢？我們一起來探討一下。
質(zhì)量流量VS體積流量測量許多研究和生產(chǎn)過程中，重要的變量是質(zhì)量而非體積。由于溫度或壓力變化會對固定體積氣體密度產(chǎn)生影響，體積流量測量不如質(zhì)量流量測量可靠。 |
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與轉(zhuǎn)子流量計（可變面積流量計）或渦輪流量計等體積流量測量裝置不同，熱式質(zhì)量流量計不受入口流量的溫度和壓力波動影響。質(zhì)量流量計可直接測量質(zhì)量流量。大多數(shù)其他方法測量體積流量需要單獨測量溫度和壓力，以計算密度，最終計算質(zhì)量流量。
質(zhì)量流量計在分子水平上測量流量，因而可提供高精準(zhǔn)、高重復(fù)性和可靠的氣體輸送到過程中。 |
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熱式質(zhì)量流量測量原理的優(yōu)勢熱式質(zhì)量流量計是目前測定小流量氣體常用的儀表。自從20世紀(jì)70年代中期推行以來，儀表經(jīng)歷了相當(dāng)大的發(fā)展，從模擬量到數(shù)字，從小流量到大流量，從實驗室和裝備應(yīng)用到工業(yè)環(huán)境甚至危險區(qū)域應(yīng)用。幾乎所有小流量氣體應(yīng)用都有合適的熱式質(zhì)量流量計。用于小流量氣體測量應(yīng)用的其他測量原理包括科里奧利流量測量和差壓測量。 |
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科里奧利流量測量科里奧利質(zhì)量流量計具有優(yōu)勢，尤其是在測量超臨界氣體以及用戶想要測量變化的或者未知的混合氣體時。 差壓測量差壓測量原理通過計算將測得的差壓轉(zhuǎn)換成質(zhì)量流量，包括氣體溫度以及所用氣體的密度和動態(tài)粘度。相比之下，熱式傳感器不易受到工藝中壓力變化的影響，熱式流量測量中其他氣體的轉(zhuǎn)換本質(zhì)上更準(zhǔn)確。 |
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熱式傳感器之間的差異熱式質(zhì)量流量計和熱式質(zhì)量流量傳感器利用流體的導(dǎo)熱性。熱式流量計有不同的傳感器：
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每種技術(shù)都有其優(yōu)缺點，具體針對應(yīng)用的有：潔凈干燥氣體應(yīng)用，要求高精度和高重復(fù)性，對于旁路儀表（例如El-Flow Select 系列和EL-FLOW Prestige系列）可能是比較適合的。
對于使用稍微潮濕的氣體或者精度較低但要求高重復(fù)性和穩(wěn)健性的應(yīng)用，更適合使用帶有直通式傳感器和直通流道的流量計（例如MASS-STREAM系列）。 也有使用芯片傳感器（MEMS、或CMOS）的熱式質(zhì)量流量計，氣流在該傳感器處與傳感器接觸。 |
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| 更快的測量信號的優(yōu)勢常被以下事實抵消：此類傳感器不太堅固，通常不適合用于腐蝕性或爆炸性氣體。此外，流量計需要根據(jù)實際氣體進(jìn)行校準(zhǔn)（例如IQ+FLOW系列）。 | |
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熱式質(zhì)量流量控制器熱式質(zhì)量流量控制器事實上就是流量計組合集成或外接控制閥。此類緊湊儀表用于必須精準(zhǔn)控制氣體的應(yīng)用。 質(zhì)量流量控制器持續(xù)將輸出信號與來自電壓、電流或數(shù)字（現(xiàn)場總線）源的設(shè)定點信號進(jìn)行比較。設(shè)定點信號和測量信號之間的任何偏差都會轉(zhuǎn)化為電磁控制閥調(diào)整，直到兩個信號完全相同。 控制功能（PID，比例積分導(dǎo)數(shù)）通常是流量計電子設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)部分，同時可以通過用戶軟件調(diào)整控制特性，以實現(xiàn)快速或平穩(wěn)的控制。根據(jù)應(yīng)用，您可選擇比例電磁控制閥，用于高或低（差壓）壓力和小到大流量。 |
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熱式質(zhì)量流量計和控制器的更多智能化通過集成額外的智能，熱式質(zhì)量流量計和控制器技術(shù)仍在不斷改進(jìn)。多氣體/多量程或診斷等功能不再例外。 |
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Bronkhorst EL-FLOW Prestige系列具有包含約100種氣體物理性質(zhì)的氣體數(shù)據(jù)庫，儀表可自動補償進(jìn)口壓力變化。
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