流量控制 | MOCVD

2023年2月22日 Bronkhorst

穩(wěn)定精準(zhǔn)流量控制

Bronkhorst質(zhì)量流量控制器在MOCVD工藝制造LED的過(guò)程中起著重要作用。穩(wěn)定精準(zhǔn)的氫氣氣體流量控制可提高M(jìn)OVCVD工藝條件從而提高LED產(chǎn)品質(zhì)量。

MOCVD是LED生產(chǎn)制造過(guò)程中的一個(gè)步驟。在MOCVD工藝流程中，載氣將一種或多種氣態(tài)金屬有機(jī)化合物引導(dǎo)至晶片?；衔锓纸獠⒃诰铣练e很薄的晶體層，從而制成紅色、綠色或藍(lán)色發(fā)光LED。沉積的材料類型-通常是某種氮化物-決定了要發(fā)光的顏色。

一家大型電視屏幕微型LED制造商使用MOCVD，氫氣作為載氣。Bronkhorst臺(tái)灣公司為其提供可靠、穩(wěn)定的解決方案來(lái)供應(yīng)載氣。

應(yīng)用要求

客戶要求對(duì)載氣氫氣供應(yīng)進(jìn)行更準(zhǔn)確的流量控制，以改進(jìn)MOCVD工藝，從而提高LED的質(zhì)量。需要穩(wěn)定的流量條件和流量控制器對(duì)設(shè)置改變進(jìn)行快速響應(yīng)。

重要議題

氫氣的穩(wěn)定質(zhì)量流量控制
快速控制
良好的服務(wù)

工藝方案

為了提高M(jìn)OCVD工藝的質(zhì)量，從而提高LED質(zhì)量，Bronkhorst臺(tái)灣公司提供了多個(gè)EL-FLOW Metal Sealed?質(zhì)量流量控制器用作AIXTRON G3/G4代MOCVD設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)元件。

使用這些流量控制器的目的是控制氫載氣流量。穩(wěn)定的載氣流量是整個(gè)工藝質(zhì)量的關(guān)鍵，因?yàn)槠淞髁繘Q定了LED組件的沉積速率。

Bronkhorst質(zhì)量流量控制器提供大量氣體用于填充MOCVD反應(yīng)器設(shè)備的腔室。使用了幾種不同的類型：典型氣體流量為20 ml/min的小流量EL-FLOW質(zhì)量流量控制器到流量為20 l/min的大流量EL-FLOW質(zhì)量流量控制器。

EL-FLOW Metal Sealed質(zhì)量流量控制器的一大優(yōu)勢(shì)是擁有良好的金屬對(duì)金屬密封能力。其高質(zhì)量的表面也使其適合半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)的嚴(yán)格要求。此應(yīng)用中還用到了EL-PRESS Metal Sealed 壓力控制器。

應(yīng)用中使用此類裝置可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的氫氣氣體流量，并可對(duì)工藝條件的變化做出快速響應(yīng)。工藝流程的改進(jìn)可降低成本并減少庫(kù)存項(xiàng)目。

現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)

Bronkhorst臺(tái)灣公司服務(wù)部已成立10多年，對(duì)裝置進(jìn)行校準(zhǔn)和維修。服務(wù)團(tuán)隊(duì)還會(huì)現(xiàn)場(chǎng)拜訪客戶，提供如何使用流量?jī)x表以及如何改進(jìn)工藝流程的建議。

該項(xiàng)目服務(wù)團(tuán)隊(duì)通過(guò)調(diào)整質(zhì)量流量裝置的PID設(shè)置來(lái)微調(diào)過(guò)程，以在MOCVD系統(tǒng)中獲得更好的控制性能。

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