半導(dǎo)體和LED照明產(chǎn)業(yè)
| 最初，熱式質(zhì)量流量計和控制器是在1970年代為半導(dǎo)體制造過程中的氣相沉積而開發(fā)的。由于市場需求以及在氣體、液體和蒸汽輸送方面引進(jìn)新的更好產(chǎn)品的需要，Bronkhorst成為半導(dǎo)體、平板顯示器和LED行業(yè)的主要供應(yīng)商。針對化學(xué)氣相沉積（CVD）、平板顯示器噴涂（FPD）和原子層沉積（ALD）工藝，Bronkhorst可為直接液體注入系統(tǒng)提供金屬密封流量儀表。 |
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應(yīng)用案例
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