金屬密封氣體質量流量計

Bronkhorst^?? F-111CM質量流量計為滿足半導體市場以及其他高純度氣體應用而設計。儀表表面光潔度高，采用模塊化結構，金屬密封，長期密封性好。F-111CM適用于在真空到1500 psig (100 bar)條件下準確測量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N₂)之間的流量。

EL-FLOW^? 金屬密封系列配備數字PC板，提供高精度、高穩(wěn)定性和快速響應。數字PC板包含測量和控制所需的通用功能。除了標準RS232輸出外，儀表還提供模擬I/O信號?？蛇x安裝接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT?、PROFINET 或 FLOW-BUS 協(xié)議。EL-FLOW^? 金屬密封系列設計具有可選的多氣體/多量程功能，為OEM客戶提供優(yōu)化的靈活性和工藝效率。