金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器

Bronkhorst^?? F-201CM質(zhì)量流量控制器為滿足半導(dǎo)體市場(chǎng)以及其他高純度氣體應(yīng)用而設(shè)計(jì)。儀表表面光潔度高，采用模塊化結(jié)構(gòu)，金屬密封，長(zhǎng)期密封性好。F-201CM適用于在真空到1000 psig (64 bar) 條件下準(zhǔn)確測(cè)量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N₂)之間的流量。

EL-FLOW^? 金屬密封系列配備數(shù)字PC板，提供高精度、高穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。數(shù)字PC板包含測(cè)量和控制所需的通用功能。除了標(biāo)準(zhǔn)RS232輸出外，儀表還提供模擬I/O信號(hào)?？蛇x安裝接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT?、PROFINET 或 FLOW-BUS 協(xié)議。EL-FLOW^? 金屬密封系列設(shè)計(jì)具有可選的多氣體/多量程功能，為OEM客戶提供優(yōu)化的靈活性和工藝效率。