氣體質(zhì)量流量控制器

Bronkhorst^? F-201CV質(zhì)量流量控制器（MFCs）適用于工作壓力在真空到64bar條件下準(zhǔn)確測(cè)量和控制 0.16…8 ml_n/min?至 0.5…25 l_n/min之間的流量。MFC包含熱式質(zhì)量流量傳感器、精準(zhǔn)控制閥和基于微處理器帶有信號(hào)和現(xiàn)場(chǎng)總線轉(zhuǎn)換的PC板。根據(jù)設(shè)定值，流量控制器可快速調(diào)節(jié)所需流量。

EL-FLOW? Select系列配備數(shù)字PC板，提供高精度、高穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。主數(shù)字PC板包含測(cè)量和控制所需的通用功能。除了標(biāo)準(zhǔn)RS232輸出外，儀表還提供模擬I/O信號(hào)。可選安裝接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT?、PROFINET 或 FLOW-BUS 協(xié)議。EL-FLOW? Select設(shè)計(jì)具有可選的多氣體/多量程功能，為OEM客戶提供優(yōu)化的靈活性和工藝效率。

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