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IQ+FLOW

基于MEMS技術(shù) — 壓力計(jì)/控制器

設(shè)備制造商們尋求緊湊的解決方案來(lái)監(jiān)測(cè)或控制其系統(tǒng)中的氣體流量或壓力。用于分析、生物技術(shù)和醫(yī)療市場(chǎng)的臺(tái)式設(shè)備需盡量小尺寸,以節(jié)省空間。

Bronkhorst與TNO-TPD(應(yīng)用物理研究所|荷蘭)密切合作,開(kāi)發(fā)了IQ+FLOW??氣體質(zhì)量流量傳感器,并設(shè)計(jì)了微型壓力傳感器和不銹鋼微型閥。得益于MEMS技術(shù),IQ+FLOW小流量氣體和壓力測(cè)量控制儀表尺寸大大縮小,為20 x 40 mm。IQ+FLOW壓力計(jì)和控制器可選配介質(zhì)隔離傳感器,以兼容各種流體。

  • 最小范圍 0.01…0.5 bar 絕壓或表壓
  • 最大范圍 0.2…10 bar 絕壓或表壓

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客戶定制化設(shè)計(jì)

基于 IQ+FLOW??系列的微系統(tǒng)技術(shù),Bronkhorst可提供緊湊型模塊上組合功能模塊的可能性。


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